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  量測儀可定義為一類具有可作3個(gè)方位移動(dòng)的探測器，可在3個(gè)互相垂直的導(dǎo)軌上移動(dòng)，此探測器以接觸或非接觸等方法傳輸訊號，3個(gè)軸之移動(dòng)量測系統(tǒng)（如光學(xué)尺）經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計(jì)算機(jī)等計(jì)算出工件的各點(diǎn)坐標(biāo)（x,y,z）及各項(xiàng)功能量測的儀器，三坐標(biāo)測量儀是坐標(biāo)測量儀中的一類。
  氣動(dòng)量儀這種測量方法是利用光柵繞射所制成的量測系統(tǒng)又稱光學(xué)尺，其光線經(jīng)過瞄準(zhǔn)透鏡而映射到游動(dòng)刻度尺和主刻度尺，藉其光波產(chǎn)生Moire條紋明暗訊號之原理，由光電管接收其信號，經(jīng)擴(kuò)大及修正后就可以展示出來，其系統(tǒng)及輸出信號情形。

  使用量測前準(zhǔn)備應(yīng)檢查空氣軸承壓力是不是足夠，安裝工件測頭選取及安裝，將恰當(dāng)之測頭裝于Z軸承接器，檢視Z軸是不是會(huì)自動(dòng)滑落（否則應(yīng)調(diào)整紅色壓力平衡調(diào)整閥）。鎖住各軸之恰當(dāng)位置，量測使用應(yīng)開啟處理機(jī)電源，啟開打印機(jī)開關(guān)，參考操作手冊，選取所需功能之指令進(jìn)行量測，并讀取量測值。完成后注意事項(xiàng)有Z軸移到原先位置后鎖住，X,Y軸各移到中央鎖住，關(guān)電源及壓力閥，拿掉測頭并作恰當(dāng)?shù)谋ｐB(yǎng)。